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真空腔體加工注意事項
真空腔體是保持內部為真空狀態的容器,真空腔體加工要考慮容積、材質和形狀。
超高真空系統主要采用不銹鋼材質。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有優良的抗腐蝕性、無磁性、焊接性好、導電率、放氣率低和導熱率低、能夠在-270~900℃工作等優點,在高真空和超高真空系統中,應用較廣。
為了減小腔體內壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體,更多的是利用電解拋光來進行表面處理。
焊接是真空腔體制作中最重要的環節之一。通常采用氬弧焊來完成焊接,可避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應而影響焊接質量,氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氬氣,以防止熔化后的高溫金屬發生氧化反應。
超高真空腔體的氬弧焊接,原則上必須采用內焊,即焊接面是在真空一側,以免存在死角而發生虛漏。真空腔體不允許內外雙重焊接和雙重密封的大氣壓在1cm2的面積上產生約1kgf的壓力,對直徑20cm的法蘭來講,就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體,由于構造的特殊性使得壓力分散,腔體的壁厚2~4mm就不會變形。
但是,對于方形腔體,側面的平板上要承受上噸的壓力,必須通過增加壁厚或設置加強筋,才能防止變形。
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